常用55W-65W，灯管管体长380mm-450mm，管径15mm，灯头2G11。

紫外臭氧清洗(UV/O³ Cleaning)过程提供一种简单，经济，快速获得超洁净的表面，去除大多数无机基材（比如石英，硅片，金，镍，铝，砷化镓，氧化铝等）上的有机污染物，如皮肤油脂，有机硅油和油脂，助焊剂，残留的光刻胶，胶水溶剂，碳等。特别是当基材和薄膜蒸镀需要很好的粘接时，紫外清洗非常理想。获得超洁净的表面，只需要在传统清洗后，再用紫外臭氧清洗1到几分钟就可以啦。

紫外臭氧清洗工作原理：清洗设备的核心是低压石英汞灯，产生254和185nm范围的紫外线。臭氧和等离子氧气产生，有机污染物分子在吸收254nm波长紫外线后被激发或分解。激发的有机污染物可以和离子氧原子反应形成气体，比如CO₂、H₂O等。整个过程在室温发生，并且只需要1到几分钟完成。

注1：白色氧化铝暴露在UV能量下会变黄。这种现象是由于基材吸收UV能量， 而不是一种涂层。这种氧化铝在加热情况下会转化为他原来的颜色。
注2：清洗元件温度的上升取决清洗过程的时间长度。在大多数应用，元件温度可以视为室温。